名前: | (ZnO)単結晶 | 明確な開き: | >95% |
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小さな溝: | <0> | 厚さ/直径の許容: | ±0.05 mm |
ハイライト: | ガリウム ガドリニウムのガーネット,znoのウエファー |
酸化亜鉛(ZnO)の単結晶は熱水方法によって育ちプラチナ内部の容器を使用する。これらのバルク水晶から得られる2インチのZnOのウエファーは非常に高い結晶化度および純度を所有している。電気抵抗は全体のウエファー区域に非常に均一である。焼きなましの後で、ステップおよび台地の構造はウエファーの表面で観察された。腐食ピット密度は80以下のcm-2に減った。これらの結果は2インチのZnOのこのウエファーが広いバンド ギャップ装置塗布のために適していることを提案する。bandgapはそれを光電子工学、また紫外線装置の青およびすみれ色の適用の多数のために魅力的にさせる3.4 eVrangeにある。
特徴
優秀な結晶の質 |
窒化物への優秀な格子マッチ |
装置統合のために容易にエッチングされて |
適用
半導体回路の基質 |
ZnO LED |
ZnOのフィルム |
主要な指定
材料 |
ZnO |
オリエンテーション |
[0 0 0 -1]または[1 0 -1 0] <> |
平行 |
10 |
垂直 |
5 |
表面質 |
10/5 |
波頭のゆがみ |
/4 @632nm |
表面の平坦 |
/8 @632nm |
明確な開き |
>95% |
小さな溝 |
<0> |
厚さ/直径の許容 |
±0.05 mm |
最高次元 |
dia 50×100mm |
コーティング |
AR/AR@940+1030HR @ 1030+HT@940+AR1030 |
材料特性
身体検査およびchemicalcharacteristics
タイプの材料 |
単結晶 |
結晶構造 |
、= b=3.252六角形、c = 5.313 |
分子量 |
81.47 |
R.i. |
= 1.3836無し、ne = 1.3957 @0.405 m |
反射損失 |
5,1% @4,0 m;11,2% @0.12 m |
密度 |
5.7 g/cm3 |
融点 |
1975°C |
熱伝導性 |
6と(mK) |
熱拡張 |
a:6.510-6/°C;C:3.710-6/°C @20°C |
硬度(Mohs) |
4 |
比誘電率 |
C:4.87;⊥C:5.45 @95 KHz -42のMHz |
水の容解性 |
いいえ |
標準的なプロダクト
オリエンテーション |
終わり構成、nm |
厚さ、nm |
光学伝達 |
[0 0 0 -1] |
5×5 |
0.5 |
= 1.3836無し、 @0.405 m |
[1 0 -1 0] |
|||
[0 0 0 -1] |
1 |
||
[1 0 -1 0] |
|||
[0 0 0 -1] |
8×8 |
0.5 |
|
[1 0 -1 0] |
|||
[0 0 0 -1] |
1 |
||
[1 0 -1 0] |
|||
[0 0 0 -1] |
10×10 |
0.5 |
|
[1 0 -1 0] |
|||
[0 0 0 -1] |
1 |
||
[1 0 -1 0] |
|||
[0 0 0 -1] |
15×15 |
0.5 |
|
[1 0 -1 0] |
|||
[0 0 0 -1] |
1 |
||
[1 0 -1 0] |
|||
[0 0 0 -1] |
dia 25.4 |
0.5 |
|
[1 0 -1 0] |
|||
[0 0 0 -1] |
1 |
||
[1 0 -1 0] |
|||